发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung flacher Substrate mit optisch aktiven Schichtsystemen
摘要
申请公布号 DE102004021734(B4) 申请公布日期 2010.09.02
申请号 DE200410021734 申请日期 2004.04.30
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 SCHULZE, DIETMAR;LIST, MATTHIAS
分类号 C23C14/35;C03C17/00;C03C17/36;C23C14/02;C23C14/56 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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