发明名称 用于测量被聚焦的激光束的测量装置
摘要 根据典型实施方式,用于测量激光束的测量装置包括放大透镜系统,其具有在激光束的光束路径中接连布置并且焦点重合的总共两个透镜(10,12)的,以及像机(74),其布置在两个透镜(10,12)之后在最后透镜(12)的焦点中并且包括从被放大的激光束产生电子图像的电子图像传感器。透镜(10,12)与摄像机(74)一起可沿着光束路径相对测量装置的参照点(46)调整,以便能以此方式找到激光束的光束腰部和确定激光束的直径分布。测量装置还包括适配器(42),其围绕光束路径用于耦接测量装置到提供激光束的激光系统。在这种情况中,适配器(42)形成用于激光系统的停止面(46),该停止面基于激光束的光束轴线(16)轴向地定向,并允许测量装置被原地耦接到激光系统的安装场所。
申请公布号 CN101821595A 申请公布日期 2010.09.01
申请号 CN200880106717.7 申请日期 2008.09.12
申请人 波光股份有限公司 发明人 贝恩德·热尔特;奥拉夫·基特尔曼
分类号 G01J1/42(2006.01)I;G01J1/04(2006.01)I 主分类号 G01J1/42(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王新华
主权项 一种用于测量被聚焦的激光束的测量装置,包括:放大透镜系统,其包括沿着所述激光束的光束路径接连设置的至少两个透镜(10,12),其中所述放大透镜系统的每对相继的透镜具有重合的焦点,电子图像传感器(14),其设置在所述放大透镜系统后面在所述放大透镜系统的焦点处,用于捕获所述激光束的被放大的图像,适配器(42),其围绕所述光束路径,用于耦接所述测量装置到提供所述激光束的激光装置,所述适配器(42)形成用于所述激光系统的邻接表面(46),所述邻接表面相对于所述激光束的光束轴线(16)轴向地定向,纵向调整装置(98),其允许沿着所述光束路径相对于设置在所述适配器上的所述测量装置的参照点(46)同时调整所述放大透镜系统的所述透镜(10,12)和所述图像传感器(14)。
地址 德国埃尔兰根