表面声波谐振器以及表面声波振荡器

摘要

本发明提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，其能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器是SAW谐振器(10)，具有：IDT(12)，其采用欧拉角为(，117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30)，激励阻带上端模式的SAW；槽(32)，其是通过使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的，在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时，满足下式：0.01λ≤G；在设IDT(12)的线占有率为η时，槽(32)的深度G与上述线占有率η满足下式的关系：-2.5×G/λ+0.675≤η≤-2.5×G/λ+0.775。

主权项

1.一种表面声波谐振器，其具有：叉指换能器，其设置在欧拉角为(117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板上，激励产生阻带上端模式的表面声波；以及电极指间槽，其是通过使位于构成上述叉指换能器的电极指之间的基板凹陷而形成的，该表面声波谐振器的特征在于，在设上述表面声波的波长为λ、上述电极指间槽的深度为G的情况下，满足下式：0.01λ≤G，而且，在将上述叉指换能器的线占有率设为η的情况下，上述电极指间槽的深度G与上述线占有率η满足下式的关系：-2.5×G/λ+0.675≤η≤-2.5×G/λ+0.775。