发明名称 Integrierter optischer Detektor und optisches Beugungselement
摘要 Ein integrierter optischer Detektor und ein optisches Beugungselement umfassen ein Erfassungselement und ein optisches Beugungselement. Das Erfassungselement und das optische Beugungselement sind direkt in den Weg des Strahls plaziert, der durch die Lichtquelle emittiert wird. Das Erfassungselement überwacht die Leistung einer Lichtquelle, ohne Licht von dem Strahl desselben weg umzuleiten oder zu reflektieren. Das optische Beugungselement umfaßt eine Mehrzahl von dünnen Schichten aus einem optisch transmissiven Material, die aufeinandergestapelt sind. Eine zusätzliche Schicht bei der Basis des optischen Beugungselements wirkt als ein Erfassungselement, das auf die Leistung eines Einfallendes-Licht-Strahls anspricht. Das Ansprechen des Erfassungselements auf Licht umfaßt ein photoresistives, ein photovoltaisches und ein thermisches Ansprechen. Das Erfassungselement kann ferner als ein Teil des optischen Elements eingegliedert sein. Das optische Element, das mit dem Erfassungselement verwendet wird, kann auch brechend oder reflektierend sein.
申请公布号 DE102004012030(A1) 申请公布日期 2005.03.03
申请号 DE20041012030 申请日期 2004.03.11
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE) 发明人 MATTHEWS, JAMES ALBERT
分类号 G02B5/18;H01J40/14;H01L31/00;H01L31/08 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
地址