| 发明名称 | 测试表面的光学检验 | ||
| 摘要 | 一方面，根据确定的强度变化，通过改变分辨率减小了存储从比如Parousiameter的散射计(100)获得的图像强度数据所需的数据量，强度数据以此分辨率在网格的不同区域中使用。另一方面，散射计设置有非球面镜(170，900，1000)，用于对测试样品(180)成像，以校正由于反射镜相对于测试样品的偏心放置所引入的失真。另一方面，光学表面检验装置在测试表面(1420)和照亮的图形网格(1410)间使用了辅助透镜(1440)，以将图形网格(1610)投影在测试表面上。相机(1450)聚焦在作为实像的测试表面的网格上。 | ||
| 申请公布号 | CN101036045B | 申请公布日期 | 2010.09.01 |
| 申请号 | CN200580034172.X | 申请日期 | 2005.10.05 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | 斯皮克·瓦德曼 |
| 分类号 | G01N21/47(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/47(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 王英 |
| 主权项 | 一种计算机执行的处理散射测量数据的方法，包括：将光束(140)导向散射计(100)中的目标材料(180)；在光(120)从所述目标材料反射后，测量其强度，其中在穿过所述散射计屏(130)上所提供的视场中的点的网格上测量所述强度，以获得表示穿过所述视场的强度的数据；确定穿过所述视场的强度的变化；以及根据所确定的强度变化，定义至少一个函数，该函数通过改变分辨率描述了穿过所述视场的所述光强度分布，其中使得所述强度数据以所述分辨率在所述网格的不同区域中使用；其中，每个所述不同区域包括至少一个网格点。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||