一种材料热膨胀系数的双光束激光干涉测量方法

摘要

一种材料热膨胀系数的双光束激光干涉测量方法，涉及材料热膨胀系数的双光束激光干涉测量。将被测样品置于高真空加热炉固件内，并将炉体抽真空到10-4Pa以下；利用SIOS-SP120D激光干涉仪的激光发射盒发射两束激光打在被测样品表面上，使两束激光经样品表面反射各自沿原路返回到激光发射口，与入射光形成干涉；测得激光束a、b光程位移变化Δa和Δb，由两束激光光程位移量之差Δa-Δb得到被测样品L段的膨胀量ΔL；用K型热电偶测量高真空加热炉内被测样品温度，利用数据采集卡采集温度数据。该方法由于所取被测样品膨胀量为两束激光光程位移差值，样品台、夹具等受热膨胀对单束激光造成的系统误差可以相互完全抵消，因此完全消除测量膨胀量时的系统误差，提高了测量精度，同时可以准确地反映材料相变过程。

主权项

一种材料热膨胀系数的双光束激光干涉测量方法，其特征在于，被测样品加工设计成梯形状，样品被测的目标段为L段，并且激光照射的两表面光洁且相互平行；将被测样品置于高真空加热炉内，并将炉体抽真空到10-4Pa以下；利用SIOS-SP120D激光干涉仪的激光发射盒发射两束激光打在被测样品表面上，使两束激光经样品表面反射各自沿原路返回到激光发射口，与入射光形成干涉；使用SIOS-SP120D激光干涉分析仪测得激光束a、b光程位移变化Δa和Δb，由两束激光光程位移量之差Δa-Δb得到被测样品L段的膨胀量ΔL；用K型热电偶测量高真空加热炉内被测样品温度，利用数据采集卡采集温度数据。