用于确定测量机中的动态误差的方法

摘要

一种用于确定测量机中的动态误差的方法，该方法给出测量机的移动元件(3)在工作空间中相对于参考系(X，Y，Z)的位置(xa，ya，za)，该方法包括：校准步骤(100)，其中，定义至少一个输入-输出模型(M1，M2，Mcomp1)，该模型描述测量机的至少一个部件的动态行为；所述输入-输出模型响应于至少一个输入量u(Ix，Iy)而产生多个输出量y(xa，ya，my，mz，ex，ey)，其中，所述输出量包括在位置测量中由经受动态变形的测量机(1)的部件的弹性变形而引起的位置误差(ex，ey)；定义估计量过滤器(M1)的步骤，其响应于输入量u的测量值以及输出量y的子集的测量值而产生位置误差(ex，ey)的估计值；通过基于输入-输出模型的分析方法来获得过滤器(M1)；以及连续实时的误差重构步骤，其中，在输入状态时将输入量u的测量值和输出量y的子集的测量值应用于所述估计量过滤器(M1)。

主权项

1.一种用于确定测量机中的动态误差的方法，所述方法给出了所述测量机的移动元件(3)在工作空间中相对于参考系(X，Y，Z)的位置(xa，ya，za)，所述方法包括：-校准步骤(100)，其中，定义至少一个输入-输出模型(M1，M2，Mcomp1)，所述输入-输出模型描述所述测量机的至少一个部件的动态行为；所述输入-输出模型响应于至少一个输入量u(Ix，Iy)而产生多个输出量y(xa，ya，my，mz，ex，ey)，其中，所述输出量包括在位置测量中由经受动态变形的测量机(1)的各部件的弹性变形而引起的位置误差(ex，ey)；-定义估计量过滤器的步骤，所述估计量过滤器响应于输入量u的测量值并响应于输出量y的子集的测量值而产生所述位置误差(ex，ey)的估计值；所述估计量过滤器通过基于输入-输出模型的分析方法来获得；以及-连续实时的误差重构步骤，其中，在输入状态时，将所述输入量u的测量值和所述输出量y的子集的测量值应用于所述估计量过滤器