| 发明名称 | 制备电子显微镜检测样品用的夹具 | ||
| 摘要 | 制备电子显微镜检测样品用的夹具，包括：手柄1、支撑架2、夹子3、和连接装置4，支撑架2与手柄1连接在一起，连接装置4的一端连接夹子3，另一端连接支撑架2，夹子3按固定间隔g用连接装置4固定在支撑架4上。夹具的零部件用耐化学腐蚀材料构成。 | ||
| 申请公布号 | CN1796966B | 申请公布日期 | 2010.09.01 |
| 申请号 | CN200410093400.8 | 申请日期 | 2004.12.22 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 郭志蓉;周娟;张启华;潘敏 |
| 分类号 | G01N1/32(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I | 主分类号 | G01N1/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 李勇 |
| 主权项 | 制备电子显微镜检测样品用的夹具，其特征是，包括：手柄(1)、支撑架(2)、多个夹子(3)和连接装置(4)，支撑架(2)与手柄(1)连接在一起，连接装置(4)的一端连接夹子(3)另一端连接支撑架(2)，夹子(3)按固定间隔g用连接装置(4)固定在支撑架(2)上，其中所述夹具的零部件用耐化学腐蚀的材料构成。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 | ||