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发明名称 OPTICAL ASSEMBLY
摘要
申请公布号 KR20100096284(A) 申请公布日期 2010.09.01
申请号 KR20107017963 申请日期 2006.01.26
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 BIEG HERMANN;AUBELE KARL EUGEN;KWAN YIM BUN PATRICK;XALTER STEFAN;SCHMIDT MARTIN;SANVIDO SAVERIO;NGUYEN UY LIEM
分类号 G02B7/02;G02B7/182;G03F7/20 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
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