发明名称 Chemical Vapor Deposition Apparatus
摘要
申请公布号 KR100978567(B1) 申请公布日期 2010.08.27
申请号 KR20080021123 申请日期 2008.03.06
申请人 发明人
分类号 C23C16/46;C23C16/00 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
地址