基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源

摘要

本发明涉及微能源领域，具体是一种基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源。适应了微电子机械系统发展对微能源的需要，包括基底、外围基座、悬臂梁、质量块，基底与外围基座的下表面键合固定，质量块开设有竖直通孔，质量块的上表面和/或下表面上加工有感应线圈；基底上表面固定有微型永久性柱状磁体，悬臂梁上设有PZT压电薄膜；外围基座上设置有若干外接引线键合焊盘，感应线圈两端和PZT压电薄膜的两极化表面分别经引线与相应的外接引线键合焊盘连接。本发明结构合理、简洁，易于小型化与集成化，能以高输出能量密度和高输出效率为微电子机械系统提供电源，实现微电子机械系统自给供电，满足微电子机械系统发展对微能源的需要。

主权项

一种基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源，包括基底(1)、采用微机电器件加工工艺在半导体衬底上加工出的：外围基座(2)、单端与外围基座(2)固定的悬臂梁(3)、与悬臂梁(3)另一端固定的质量块(4)，基底(1)与外围基座(2)的下表面键合固定，质量块(4)通过悬臂梁(3)支悬于基底(1)的正上方，其特征在于：质量块(4)中央开设有竖直通孔(5)，且质量块(4)的上表面和/或下表面上应用微机电器件加工工艺加工有绕竖直通孔(5)设置的感应线圈(6)；基底(1)上表面与质量块(4)竖直通孔(5)正对处键合固定有与基底(1)垂直的微型永久性柱状磁体(7)，质量块(4)上的感应线圈(6)处于微型永久性柱状磁体(7)的上方，或者通过质量块(4)的竖直通孔(5)套置于微型永久性柱状磁体(7)的上部；悬臂梁(3)上设有PZT压电薄膜(8)；外围基座(2)上设置有若干外接引线键合焊盘，感应线圈(6)两端和PZT压电薄膜(8)的两极化表面分别经引线与相应的外接引线键合焊盘连接。