发明名称 |
自动清洁表面的激光打标系统 |
摘要 |
本实用新型公开了一种自动清洁表面的激光打标系统,属于激光应用技术及激光打标技术领域。它包括连续激光器、扩束准直镜、X/Y偏转镜、聚焦镜和器件定位槽,在聚焦镜和器件定位槽之间设有清洁系统,其主体形状是上部为圆柱管道、下部为圆台管道,其上端与聚焦镜相连,下端与器件定位槽槽口相通,圆柱管道上部一侧连接有横向抽风管。本实用新型省时、省力,清洁过程自动化进行,避免了丢料,保证了打标质量,系统工作效率显著提高。适合作为半导体器件的打标和对其定位装置的自动清洁使用。 |
申请公布号 |
CN201562668U |
申请公布日期 |
2010.08.25 |
申请号 |
CN200920080939.8 |
申请日期 |
2009.05.18 |
申请人 |
乐山-菲尼克斯半导体有限公司 |
发明人 |
王跃;赵小东;杨奎林 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I;B08B7/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种自动清洁表面的激光打标系统,包括连续激光器(10)、扩束准直镜(11)、X/Y偏转镜(1)、聚焦镜(2)和器件定位槽(3),其特征在于,在聚焦镜(2)和器件定位槽(3)之间设有清洁系统,其主体形状是上部为圆柱管道(4)、下部为圆台管道(5),其上端与聚焦镜(2)相连,下端与器件定位槽(3)槽口相通,圆柱管道(4)上部一侧连接有横向抽风管(6)。 |
地址 |
614000 四川省乐山市市中区人民西路289号甲 |