用于低损耗波导弯曲的系统和方法

摘要

在一种实施例中，公开了一种波导介质(20)，它使用全内反射来对经过波导的光学信号产生相当急剧(大约90°)的弯曲。介质(例如空气)的不连续性结构(21)用于在波导路径(12、13)内产生转向镜。通过使这种不连续性结构发生弯曲，将整个输入光学信号聚焦到波导的输出部分(13)中，从而补偿弯曲处光学信号的衍射损耗。在一种实施例中，为了便于将掩膜正确对准，将第一掩膜上波导的某些部分延伸(加宽)到超过其最佳物理尺寸。然后用这种延伸部分对第二掩膜的边缘进行定位，从而通过调整曲率而使由波导的延伸部分造成的光学信号散射得到补偿。

主权项

一种用于构成波导的方法，所述方法包括：提供上包层(15)、下包层(17)以及处于所述上包层与所述下包层之间的波导芯(16)；通过使用第一掩膜(60)来划分要被除去以形成光学路径(12、13)的区域，从而在所述波导芯(16)中产生所述光学路径，所述光学路径具有弯曲部分以及位于所述弯曲部分处的延伸区域，所述延伸区域包括侧翼，所述侧翼的宽度大于光刻机对准容限的2倍；以及使用第二掩膜(61)在所述波导芯内产生由空气介质(11)产生的不连续性结构(21)区域，其中，所述第二掩模暴露出所述第一掩模的边缘(81)，通过将所述第二掩膜与由所述第一掩膜产生的所述延伸区域对准来对所述第二掩膜进行定位，所述不连续性结构区域定位成与由所述第一掩膜产生的所述光学路径的弯曲部分邻接，所述波导芯中对应于所述光学路径的部分与所述不连续性结构区域之间形成全内反射界面，所述不连续性结构区域的至少一个表面自行对准所述光学路径剖面的至少一个延伸部分。