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发明名称 POLIERMITTEL UND POLIERVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE602005022168(D1) 申请公布日期 2010.08.19
申请号 DE20056022168T 申请日期 2005.03.07
申请人 ASAHI GLASS CO. LTD.;SEIMI CHEMICAL CO. LTD. 发明人 TAKEMIYA, SATOSHI;SHINMARU, SACHIE
分类号 H01L21/304;B24B37/00;C09K3/14;H01L21/3105;H01L21/321 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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