发明名称 |
制造包括衬底和沉积在衬底的一个表面上的层的结构的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种制造用于电子学、光学、光电子学或光伏学的结构(1)的方法,所述结构(1)包括衬底(10)和通过将材料沉积在所述衬底(10)的一个表面上而形成的层(20),其特征在于该方法包括以下步骤:形成包括脆化区的脆化衬底,该脆化区一方面限定了所述衬底(10),另一方面限定了剩余物;在所述脆化衬底的两个表面的每一个上沉积所述材料的层(20,21);分裂所述脆化衬底从而形成所述结构(1),其中衬底(10)的一表面(IB)被沉积的材料层(20)覆盖,而其另一表面(IA)暴露。 |
申请公布号 |
CN101809710A |
申请公布日期 |
2010.08.18 |
申请号 |
CN200880108693.9 |
申请日期 |
2008.09.23 |
申请人 |
S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司 |
发明人 |
H·阿比尔;R·朗热 |
分类号 |
H01L21/20(2006.01)I;H01L21/26(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I;H01L21/762(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京戈程知识产权代理有限公司 11314 |
代理人 |
程伟;靳强 |
主权项 |
一种制造用于电子学、光学、光电子学或光伏学的结构(1)的方法,所述结构(1)包括衬底(10)和通过将材料沉积在所述衬底(10)的一个表面上而形成的层(20),其特征在于该方法包括以下步骤:-形成包括脆化区(11)的脆化衬底(12),该脆化区(11)一方面限定了所述衬底(10),另一方面限定了剩余物,-在所述脆化衬底(12)的两个表面的每一个上沉积所述材料的层(20,21),-分裂所述脆化衬底(12),从而形成所述结构(1),其中衬底(10)的一表面(1B)被沉积的材料层(20)覆盖,而其另一表面(1A)暴露。 |
地址 |
法国贝尔尼 |