扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台

摘要

一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括试样放置用可转动插入式圆台及可插入圆台插孔的插座式样品台，所述样品台朝向电子背散射衍射方向的台面为一可插入试样的凹槽，试样平面平行于台面，样品台朝向电子背散射衍射方向的台面与水平面成夹角θ＝65-75°。本实用新型可分别用于测试试样表面及截面EBSD时试样的精确定位。测试时，试样待测表面与水平面成夹角θ＝65-75°，角度偏差控制在0.5°以内，待测试样表面沿轧制方向竖直向上，角度偏差控制在0.3°以内；对试样截面EBSD测试进行精确定位时，保证试样待测表面与水平面成夹角θ＝65-75°，其角度偏差可控制在0.5°以内，并可保证试样截面沿长度方向竖直向上，角度偏差控制在0.3°以内。

主权项

一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括电子背散射衍射试样放置用可转动插入式圆台及可插入于所述电子背散射衍射试样放置用可转动插入式圆台上的插孔的插座式样品台，其特征在于，所述插座式样品台朝向电子背散射衍射方向的台面为一可插入试样(11)的凹槽，所述试样平面平行于台面，所述凹槽两端挡板等高，两挡板顶部平面处于同一平面上，且与水平面的夹角为θ＝65-75°，所述插座式样品台朝向电子背散射衍射方向的台面与水平面成夹角为θ＝65-75°。