| 发明名称 |
一种有机电致发光器件电子注入层的制备方法 |
| 摘要 |
本发明涉及一种Cs膜的制备方法，所述Cs膜由真空蒸镀条件下直接分解为Cs的化合物形成，由于采用原料稳定，制备工艺简单。上述Cs膜可作为有机电致发光器件的电子注入层。 |
| 申请公布号 |
CN1937279B |
申请公布日期 |
2010.08.18 |
| 申请号 |
CN200610137755.1 |
申请日期 |
2006.10.30 |
| 申请人 |
清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
发明人 |
邱勇;李扬;张德强;高裕弟 |
| 分类号 |
H01L51/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种金属Cs膜的制备方法，其特征在于所述的Cs膜是由Cs2CO3在温度为500-700℃，压强小于10-2Pa的条件下蒸镀制成。 |
| 地址 |
100084 北京市清华大学何添楼111室 |
