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发明名称 METHOD FOR THIN FILM DEPOSITION ON A SUBSTRATE USING REMOTE COLD NITROGEN PLASMA.
摘要
申请公布号 EP0683825(A1) 申请公布日期 1995.11.29
申请号 EP19940906936 申请日期 1994.02.09
申请人 COMPAGNIE EUROPEENNE DE COMPOSANTS ELECTRONIQUES LCC 发明人 CALLEBERT, FRANCK;SUPIOT, PHILIPPE;DESSAUX, ODILE;GOUDMAND, PIERRE
分类号 C23C16/50;C23C16/40;C23C16/511;C23C16/513;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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