致动器及其制造方法

摘要

本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。

主权项

一种致动器，其包含：支撑衬底；隔离器，其设置在支撑衬底上；第一支撑部分，每个第一支撑部分通过隔离器被固定在支撑衬底上；第一主体部分，其相对于第一支撑部分是可旋转的，每个第一主体部分具有可移动的电极；第二主体部分，其相对于第一主体部分是可旋转的；第一弹性连接部分，用于以第一主体部分相对于第一支撑部分是可以旋转的方式分别使第一支撑部分和第一主体部分互连；第二弹性连接部分，用于以第二主体部分相对于第一主体部分是可以旋转的方式使第一主体部分和第二主体部分互连；至少一个第二支撑部分，其通过隔离器被固定在支撑衬底上；固定部分，其在隔离器没有干涉的条件下固定于支撑衬底上；固定式梳状电极，其是与固定部分作为一个整体形成的或是分别连接到固定部分，并且以彼此间隔开的关系与相应的活动式梳状电极啮合；和桥接部分，用于直接或间接地连接固定部分到第二支撑部分，其中固定部分以固定部分相对于第二支撑部分向支撑衬底偏转、同时使桥接部分弯曲的状态被固定于支撑衬底，由此初始偏移固定式梳状电极，以使其在支撑衬底的厚度方向上与活动式梳状电极不成直线，其中通过将交流电压施加至活动式梳状电极和固定式梳状电极之间而使第一主体部分旋转，并且第二主体部分响应第一主体部分的旋转而旋转。