发明名称 喷胶装置
摘要 一种喷胶装置,包括:第一喷胶泵和过滤器,所述第一喷胶泵的出口通过管路与所述过滤器的入口连接;第二喷胶泵,其入口通过管路与所述过滤器的出口连接。本实用新型避免了过滤器的阻力对喷胶速率的影响,改善了喷胶速率的均匀性。
申请公布号 CN201556026U 申请公布日期 2010.08.18
申请号 CN200920276154.8 申请日期 2009.12.09
申请人 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 发明人 李长江
分类号 G03F7/16(2006.01)I;B01D35/01(2006.01)I 主分类号 G03F7/16(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 李丽
主权项 一种喷胶装置,包括第一喷胶泵和过滤器,所述第一喷胶泵的出口通过管路与所述过滤器的入口连接,其特征在于,还包括:第二喷胶泵,其入口通过管路与所述过滤器的出口连接。
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