发明名称 | 喷胶装置 | ||
摘要 | 一种喷胶装置,包括:第一喷胶泵和过滤器,所述第一喷胶泵的出口通过管路与所述过滤器的入口连接;第二喷胶泵,其入口通过管路与所述过滤器的出口连接。本实用新型避免了过滤器的阻力对喷胶速率的影响,改善了喷胶速率的均匀性。 | ||
申请公布号 | CN201556026U | 申请公布日期 | 2010.08.18 |
申请号 | CN200920276154.8 | 申请日期 | 2009.12.09 |
申请人 | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 | 发明人 | 李长江 |
分类号 | G03F7/16(2006.01)I;B01D35/01(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/16(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
主权项 | 一种喷胶装置,包括第一喷胶泵和过滤器,所述第一喷胶泵的出口通过管路与所述过滤器的入口连接,其特征在于,还包括:第二喷胶泵,其入口通过管路与所述过滤器的出口连接。 | ||
地址 | 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 |