镀膜设备之加热器结构

摘要

本创作涉及一种镀膜设备之加热器结构，特别系指一种寿命长、吸力强之加热器结构，该镀膜设备之加热器结构系将导电性陶瓷之静电吸盘利用电极层接合于绝缘性陶瓷之基座表面，并将导电性陶瓷之发热层接合于背面，并于外部覆设有绝缘性陶瓷之包覆体，本创作特征为将该基座与该电极层之线膨胀系数差，该基座与该发热层之线膨胀系数差，该电极层与该包覆体之线膨胀系数差及该发热层与该包覆体之线膨胀系数差均为1×10-4℃～1×10-5℃之间，透过上述的设计，不致引起因变形而降低吸力或接合部之剥离，而能有效延长其使用寿命。

主权项

1.一种镀膜设备之加热器结构，系将导电性陶瓷而成之电极层接合于电气绝缘性陶瓷而成之基座表面，并将导电性陶瓷而成之发热层接合于背面，而组构成一电气绝缘性陶瓷而成之包覆体而成之加热器结构。 ;2.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备之加热器结构，其中该基座及该包覆体为氮化硼混合比例在100：0~75：25范围之氮化硼与氮化铝之混合物或氮化矽。 ;3.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备之加热器结构，其中该电极层及该发热层为石墨或炭化矽。 ;4.申请专利范围第1项所述之镀膜设备之加热器结构，其中该基座与该电极层之线膨胀系数差，该基座与该发热层之线膨胀系数差，该电极层与该包覆体之线膨胀系数差及该发热层与该包覆体之线膨胀系数差均为1×10 -4 ℃~1×10 -5 ℃之间。;第一图：系本创作镀膜设备之加热器结构之剖面示意图，用以说明本创作组成之态样。