一种太阳能电池用薄膜材料的制造方法

摘要

本发明涉及太阳能电池板中所用薄膜材料的一种制造方法。一种太阳能电池用薄膜材料的制造方法，所述薄膜材料包括自下而上衬底层(1)、模版薄膜层(2)和半导体薄膜层(3)，衬底层(1)是非晶或多晶结构的金属薄板、陶瓷或玻璃；模版薄膜层(2)为晶体学双轴织构结构，由倾斜衬底沉积法制备；半导体薄膜层(3)由物理气相沉积或者化学气相沉积制备，由模版薄膜层外延生长而成，为晶体学双轴织构结构，为一个或多个P-N结串联的光伏转换结构。本发明太阳能电池半导体层厚度仅在1-10微米可以节省98％的硅半导体材料，太阳能转换效率较之非晶太阳能电池可提高12％。设备简单，效率高，成本低，模版薄膜层(2)带有一定的粗糙度，充分吸收阳光提高太阳能电池吸收转换效率。

主权项

一种太阳能电池用薄膜材料的制造方法，所述薄膜材料包括自下而上三层，分别是衬底层(1)、模版薄膜层(2)和半导体薄膜层(3)，其特征在于：所述衬底层(1)是非晶或多晶结构的金属薄板、陶瓷或玻璃；所述模版薄膜层(2)为晶体学双轴织构结构，由倾斜衬底沉积法制备；所述半导体薄膜层(3)由物理气相沉积或者化学气相沉积制备，由模版薄膜层外延生长而成，为晶体学双轴织构结构，为一个或多个P-N结串联的光伏转换结构。