| 发明名称 | 铝或铝合金溅射靶材包装件 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种铝或铝合金溅射靶材包装件，其具有铝或铝合金溅射靶材和包覆该溅射靶材的包装体，所述包装件由氧气透过量在5ml/m2·24h·MPa以下、透湿量在3ml/m2·24hr以下的塑料膜制成，且所述塑料膜的一个或二个表面涂有例如为铝箔的涂覆层。所述包装件为真空密封包装件，且所述包装件还可为多层包装。根据本实用新型，可以保持铝或铝合金溅射靶材表面的金属特性稳定、防止起表面发生氧化反应，延长铝溅射靶材的保存时间，给生产、运输、供货及销售等提供便利；同时有效地保证溅射镀膜的溅射效率、溅射效果以及溅射成膜的质量。 | ||
| 申请公布号 | CN201545361U | 申请公布日期 | 2010.08.11 |
| 申请号 | CN200920267110.9 | 申请日期 | 2009.11.18 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔;刘庆 |
| 分类号 | B65D85/00(2006.01)I;B65D65/02(2006.01)I;B65D65/42(2006.01)I;B65D30/02(2006.01)I;B65D81/20(2006.01)I;B32B15/08(2006.01)I;B32B15/20(2006.01)I | 主分类号 | B65D85/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种铝或铝合金溅射靶材包装件，具有铝或铝合金溅射靶材和包覆该溅射靶材的包装体，所述包装体由氧气透过量在5ml/m2·24hr·MPa以下、透湿量在3ml/m2·24hr以下的塑料膜制成。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||