| 发明名称 | 基板载置台以及基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板载置台，能够防止设置在层叠多个板构成的载置台上的升降销的破损以及电极的破损，该基板载置台包括：升降销(242)，其升降自由地设置在贯通配置在最上部的电极板(210)的销插通孔(214)中；和用于对升降销(242)的升降进行引导的升降导向体(300)，升降导向体(300)被配置成通过层叠在电极板(210)的下侧的温度调整用板(220)的通孔(226)，并且通过定位销(350)被位置限定为相对于电极板(210)不能水平移动。 | ||
| 申请公布号 | CN101276777B | 申请公布日期 | 2010.08.11 |
| 申请号 | CN200810088536.8 | 申请日期 | 2008.03.27 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 佐佐木芳彦;南雅人 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种基板载置台，具有上下层叠多个板而构成的电极，其特征在于，包括：升降销，其升降自由地设置在贯通所述多个板中的配置在最上部的最上部板的销插通孔中；和用于引导所述升降销的升降的升降导向体，所述升降导向体被配置成通过层叠在所述最上部板的下侧的下侧板的通孔，并且被位置限定为相对于所述最上部板不能在水平方向移动、相对于所述下侧板能够沿着水平方向移动。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||