一种气路控制方法和装置

摘要

本发明提供了一种开启和关闭气路的控制方法，包括：当执行开启气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：通知开启后阀；设定质量流量控制器的流量；通知开启前阀；当执行关闭气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：设定质量流量控制器的流量为0；延时预置的第一时间后通知关闭后阀，所述第一时间与后阀内部延时时间之和小于质量流量控制器的内部延时时间；延时预置第二时间后通知关闭前阀，所述第二时间与前阀内部延时时间之和大于质量流量控制器的内部延时时间。本发明可以有效避免存在压力差的条件时的MFC的输出震荡问题，减弱通气不稳的首片效应，达到较好的控制效果。

主权项

一种开启和关闭气路的控制方法，其特征在于，包括：当执行开启气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：步骤A1：通知开启后阀；步骤A2：设定质量流量控制器的流量；步骤A3：通知开启前阀；开启气路操作实际动作执行顺序是：后阀和前阀先开，质量流量控制器后调整到设定流量；当执行关闭气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：步骤B1：延时预置的第一时间后通知关闭后阀，所述第一时间与后阀内部延时时间之和小于质量流量控制器的内部延时时间；步骤B2：设定质量流量控制器的流量为0；步骤B3：延时预置第二时间后通知关闭前阀，所述第二时间与前阀内部延时时间之和大于质量流量控制器的内部延时时间；关闭气路操作时，通过预置的第一时间和第二时间的延时，保证先关闭后阀，然后质量流量控制器流量调整到0，关闭前阀。