将工具组件的操作区域调整至预定单元的方法

摘要

本发明描述了一种将例如电子显微镜的图像区域定位在标称相同结构的规则栅格的特定结构上的方法。这种结构例如可以是芯片上的存储单元。现今这种存储单元具有例如小于1μm2的面积并排列在1000×1000个单元的栅格中。在位移时，会产生大于该结构的栅格距离的误差，导致图像区域被调整到与期望结构不同的结构上。本发明的实质在于该位移可被细分为大量子位移，从而每个子位移的误差小于半个栅格距离。这时在每个子位移之后确定位移，可消除每个子位移的误差。该方法可自动操作，从而借助于相关技术确定图像位移。

主权项

一种在标称相同栅格单元的标称规则栅格中将工具组件的操作区域定位在预定的、随机栅格单元上的方法，从而利用调整机构实现定位，该方法包括如下步骤：(1)在栅格中找到初始位置参考点；(2)执行该工具组件相对于该栅格的位移；(3)随后在该栅格中找到位置参考点；(4)测试预定栅格单元是否在该工具组件的操作区域的预定距离以内；(5)根据测试结果，重复步骤(2)到(4)，其特征在于：-该位移采取位移跳变的形式；-最大跳变尺寸基于以下条件而定：-以栅格周期为单位所表示的由该调整机构执行的位移的不确定性和/或，-以栅格周期为单位所表示的栅格的周期的不确定性，以及；-该位移跳变被选为小于该最大跳变尺寸。