基板搬送机械手、真空处理装置

摘要

在短时间内与载置位置多样的处理室进行基板交接。如果在A旋转部件(13)和B旋转部件(14)静止的状态下，第一～第四驱动轴(111～114)旋转，则第一～第四载置部(151～154)在其一边的延长线上直线移动。如果第一驱动轴(111)和A旋转部件(13)、第二驱动轴(112)和B旋转部件(14)、第三驱动轴(113)和A旋转部件(13)、第四驱动轴(114)和B旋转部件(14)沿相同方向旋转相同角度，则第一～第四载置部(151～154)旋转移动。如果将直线移动和旋转移动组合，则能够将第一～第四载置部(151～154)移动至所期望的场所。

主权项

一种基板搬送机械手，设有：第一驱动轴、第二驱动轴、A旋转部件、B旋转部件，配置成分别以同一主旋转轴线为中心轴线，并以所述主旋转轴线为中心而旋转；第一、第二腕部，分别以所述主旋转轴线为中心而旋转；以及第一、第二载置部，设在所述第一、第二腕部，通过所述第一、第二腕部的伸缩而直线移动，其中，在分别与所述主旋转轴线分离的位置，设有第一副旋转轴线和第二副旋转轴线，该第一副旋转轴线通过所述A旋转部件的旋转而以所述主旋转轴线为中心进行旋转移动，该第二副旋转轴线通过所述B旋转部件的旋转而以所述主旋转轴线为中心进行旋转移动，在所述第一、第二腕部，分别设有第一、第二主能动臂，第一、第二辅助能动臂以及第一、第二主从动臂，所述第一、第二主能动臂分别固定于所述第一、第二驱动轴，所述第一、第二辅助能动臂分别以所述第一、第二副旋转轴线为中心而可转动地配置，所述第一、第二载置部经由所述第一、第二主从动臂而分别安装于所述第一、第二主能动臂，所述第一、第二载置部构成为，通过所述第一、第二驱动轴的以所述主旋转轴线为中心的旋转而分别直线移动，所述第一、第二主能动臂构成为，经由限制部件而分别连接于所述第一、第二辅助能动臂，随着所述第一、第二旋转轴的旋转而分别旋转，所述第一、第二载置部分别绕着所述主旋转轴线而旋转移动。