凹槽绝缘栅型栅-漏复合场板功率器件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种凹槽绝缘栅型栅-漏复合场板功率器件及其制作方法，该器件自下而上包括衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、绝缘介质层(7)、绝缘槽栅(8)、钝化层(9)、栅场板(10)、漏场板(12)和保护层(13)，该漏场板(12)与漏极(5)电气连接，该栅场板(10)与绝缘槽栅(8)电气连接，其中，势垒层上开有凹槽(6)；栅场板与漏场板之间的钝化层上淀积有n个浮空场板(11)。每个浮空场板大小相同且相互独立，且按照等间距的方式分布于栅场板与漏场板之间。n个浮空场板与栅场板和漏场板在钝化层上通过一次工艺完成。本发明具有工艺简单、可靠性强和输出功率高的优点，可制作大功率器件。

主权项

一种凹槽绝缘栅型栅-漏复合场板功率器件，包括衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、绝缘介质层(7)、绝缘槽栅(8)、钝化层(9)、栅场板(10)、漏场板(12)和保护层(13)，该漏场板(12)与漏极(5)电气连接，该栅场板(10)与绝缘槽栅(8)电气连接，其特征在于，势垒层(3)上开有凹槽(6)；栅场板与漏场板之间的钝化层(9)上淀积有n个浮空场板(11)，n≥1，栅场板与其最邻近的浮空场板之间的距离为0.08～1.3μm，漏场板与其最邻近的浮空场板之间的距离为0.07～1.16μm，各浮空场板按照相邻两浮空场板之间的间距均为0.11～1.8μm的方式均匀分布于栅场板与漏场板之间；每个浮空场板的厚度均为0.35～5.7μm，每个浮空场板的长度均为0.26～4μm，栅场板的有效长度为0.3～5μm，漏场板的有效长度为0.2～5μm。