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发明名称 Apparatus and method for measuring temperature of wafer in Rapid Thermal Processor
摘要
申请公布号 KR100974013(B1) 申请公布日期 2010.08.05
申请号 KR20080056381 申请日期 2008.06.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/324 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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