热分析传感器以及制造热分析传感器的方法

摘要

在具有基片(1)和形成在基片(1)上的测量位置(3)的热电偶结构(5，6，7，8，9，10)的热分析传感器中，通过热电偶结构的特定形状以及基片(1)的材料选择可获得提高的灵敏度。此外，本发明还涉及这种传感器的制造方法。

主权项

一种热分析传感器，它具有基片(1)，基片(1)能够在与基片(1)热连接的热源与形成在传感器上的至少一个测量位置(3，3’，30，31，32，33)之间传导热流，热分析传感器还具有形成在基片(1)的大体上平的表面(2)上以发出热电信号的热电偶结构，其中，热电偶结构包括多个热电偶接点(5，8，9，10)形成的串联链，热电偶接点由两种不同热电偶材料(6，7)构成、并且串联连接以形成热电偶队列，热电偶接点的串联链绕着测量位置(3，3’)的中心(4，4’)沿着方位方向延伸，热电偶接点以与测量位置(3，3’)的中心(4，4’)相隔不同的径向距离交替地布置，方位地限定在串联链中最靠近中心(4，4’)的一个第一种热电偶接点(5)与两个第二种热电偶接点(8)之间的表面(2)的空隙区域(13)的至少一个包括在串联链中相互直接相邻的一个第三种热电偶接点(9)和一个第四种热电偶接点(10)，所述第二种热电偶接点(8)紧邻第一种热电偶接点。