发明名称 用于半导体部件中的叠层的增强结构
摘要 本申请涉及用于增强半导体部件中的叠层的增强结构(1,2),其中,提供有至少一个增强元件(110,118),其具有至少一个集成的锚状部分(110a,110b)。基本的想法是通过在UBM和/或BUMA层的下面提供增强元件,为先进的凸块下方金属化(BUMA,UBM)下面的各层之间提供更好的机械连接,以增强焊盘结构。
申请公布号 CN101796633A 申请公布日期 2010.08.04
申请号 CN200880100047.8 申请日期 2008.07.17
申请人 NXP股份有限公司 发明人 亨德里克·彼特·胡切斯坦巴赫;威廉·德克·范德雷尔
分类号 H01L23/00(2006.01)I;H01L23/485(2006.01)I 主分类号 H01L23/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王波波
主权项 一种用于增强半导体部件中的叠层(100)的增强结构(1,2),其特征在于:至少一个增强元件(110,118)具有至少一个集成的锚状部分(110a,110b)。
地址 荷兰艾恩德霍芬