一种无损检测物品表面的装置

摘要

本实用新型涉及一种无损检测物品表面的装置，其特征在于激光器的光轴上设置扩束准直透镜组；在被测物品反射光束的中心轴线上依次设置剪切元件、带镜头的线阵CCD；剪切元件与带镜头的线阵CCD固定在微位移平台上，带镜头的线阵CCD采集的图像信号输出至计算机，计算机的控制信号输出至微位移平台控制微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫方法，可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。

主权项

一种无损检测物品表面的装置，其特征在于包括激光器(1)、扩束准直透镜组、剪切元件(4)、带镜头的线阵CCD(5)、微位移平台(6)和计算机(7)；激光器(1)的光轴与被测物品的中心轴线呈0.01°～20°角度放置，在激光器(1)的光轴上设置扩束准直透镜组；在被测物品反射光束的中心轴线上依次设置剪切元件(4)、带镜头的线阵CCD(5)；剪切元件(4)与带镜头的线阵CCD(5)固定在微位移平台(6)上，带镜头的线阵CCD(5)采集的图像信号输出至计算机(7)，计算机的控制信号输出至微位移平台(6)控制微位移平台(6)的移动；所述扩束准直透镜组包括显微物镜(2)和透镜(3)，显微物(2)设置在激光器(1)的前端，然后设置透镜3，透镜(3)的焦点位于显微物镜(2)的焦点处；所述的剪切元件(4)紧挨带镜头的线阵CCD(5)放置，调整经过剪切元件(4的两束光相对于待测样品轴线对称，且两束光之间角度为0.01°～20°；所述带镜头的线阵CCD(5)位于样品通过带镜头的线阵CCD(5)镜头所成像的像平面上；所述显微物镜的放大倍数大于样品表面面积与激光束截面面积的比值，以使通过扩束准直透镜组扩束后的平行光束照明整个被测样品表面。