发明名称 Silicon carbide metal-semiconductor field effect transistors and methods of fabricating silicon carbide metal-semiconductor field effect transistors
摘要
申请公布号 EP1976020(A3) 申请公布日期 2010.08.04
申请号 EP20080160291 申请日期 2001.02.15
申请人 CREE INC. 发明人 ALCORN, TERRENCE S;PALMOUR, JOHN W;ALLEN, SCOTT T
分类号 H01L21/04;H01L21/28;H01L21/338;H01L21/76;H01L29/24;H01L29/417;H01L29/47;H01L29/812 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
地址