利用排气管的有机蒸气喷射沉积

摘要

提供了用于有机蒸气喷射沉积的方法和系统，其中在相邻喷嘴(310，320)之间设置排气管(300)。该排气管可降低喷嘴中以及喷嘴与基底(110)之间的压力积聚，造成改进的沉积轮廓、分辨率和改进的喷嘴-喷嘴间均匀性。该排气管可以与环境真空流体连通或可以直接连向真空源。

主权项

在基底上沉积材料的方法，包括：提供一种或多种非反应性载气，各非反应性载气传输待被沉积的有机材料；使用多个喷嘴，向所述基底喷射所述一种或多种载气；和提供与所述多个喷嘴中的第一喷嘴和与所述多个喷嘴中的第二喷嘴相邻设置的排气管；其中所述排气管经构造以在所述第一喷嘴与所述第二喷嘴之间建立局部真空。