激光陀螺腔体和电极板清洗方法

摘要

本发明属于超光滑高洁净表面清洗技术，涉及对激光陀螺腔体和电极板清洗方法的改进。本发明的步骤是：清洗表面保护漆；粗洗表面有机物；用二氯化锡-盐酸溶液清除表面及孔内抛光粉；清除表面有机物；双氧水-氨水混合液溶液清洗；去离子水清洗。本发明对于超光滑表面清洗后清洁度显著提高，满足了激光陀螺装配要求。

主权项

激光陀螺腔体和电极板清洗方法，其特征在于，清洗环境应满足下述要求：洁净度：10000级；温度：22±5℃；清洗过程在通风柜内进行，操作步骤如下：1.1、清洗表面保护漆；1.1.1、将被清洗的零件用夹具夹持后放入干净的清洗盒内，向清洗盒加入无水乙醇，纯度为分析纯，无水乙醇浸没零件并浸泡4～8h；1.1.2、将清洗盒放入超声清洗槽中，打开超声波清洗机清洗15min～20min，然后关闭超声波清洗机，取出清洗盒；1.1.3、更换新无水乙醇，重复上述步骤1.1.2～1.1.3清洗1～2次；1.1.4、取出零件用流动去离子水冲洗2min～4min，用高纯氮气吹干；1.2、粗洗表面有机物；1.2.1、将装有零件的夹具放入清洗盒中，注入分析纯丙酮至浸没零件；1.2.2、将清洗盒放入超声清洗槽中，打开超声波清洗机清洗15min～20min；1.2.3、关闭超声波清洗机，取出清洗盒，将零件用流动去离子水冲洗2min～4min，用高纯氮气吹干；1.3、用0.5％～1.5％的二氯化锡～盐酸溶液清洗，清除表面抛光粉；1.3.1、将装有零件的夹具放入清洗盒中，注入0.5％～1.5％二氯化锡‑盐酸溶液至浸没零件；1.3.2、将清洗盒放入超声清洗槽中，打开超声波清洗机清洗20min～30min；1.3.3、关闭超声波清洗机，取出清洗盒，将零件用流动去离子水冲洗2min～4min；高纯氮气吹干；1.3.4、在10倍显微镜或放大镜下检查零件表面是否残留抛光粉，如有，则重复1.3.1～1.3.3步骤，重复清洗1～4次；1.4、清除表面有机物；1.4.1、将装有零件的夹具放入清洗盒中，注入洗液至浸没零件，洗液为3％～6％的重铬酸钾硫酸溶液；1.4.2、将清洗盒放入超声清洗槽中，打开超声波清洗机清洗30min～35min；1.4.3、关闭超声波清洗机，取出清洗盒，将零件用流动去离子水冲洗3min～5min；1.4.4、目视零件表面应有一薄层连续水膜，否则重复进行步骤1.4.1～1.4.3，直至零件表面有一薄层连续水膜；1.4.5、将装有零件的夹具放入清洗盒中，注入去离子水至浸没零件；1.4.6、将清洗盒放入超声清洗槽中，打开超声波清洗机清洗10min～15min；去离子水冲洗2min～4min，高纯氩气吹干；1.5、双氧水‑氨水混合液溶液清洗；1.5.1、将装有零件的专用夹具放入清洗盒中，注入双氧水‑氨水混合液，混合液比例为：双氧水∶氨水∶去离子水＝(0.5～1.2)∶(0.7～1.5)∶(3～9)至浸没零件；1.5.2、将清洗盒放入超声清洗槽中，打开超声波清洗机清洗10min～15min；1.5.3、关闭超声波清洗机，取出清洗盒，将零件用流动去离子水冲洗3min～5min；1.6、去离子水清洗；1.6.1、将装有零件的夹具放入清洗盒中，注入去离子水至浸没零件；1.6.2、将清洗盒放入超声清洗槽中，打开超声波清洗机清洗10min～15min，然后用去离子水冲洗2min～4min；1.6.3、重复1.6.1～1.6.2步骤2～3次，用高纯氩气吹干零件。