形成模具的方法以及使用所述模具形成制品的方法

摘要

本发明公开了一种形成加工模具的方法，包括：在室中的电极上放置基板(610)，该基板至少具有第一结构化表面(620)，并且该基板包含热固性聚合物材料；向室内引入形成剥离层(630)的气体，其中该形成剥离层的气体包括原子比不大于约200的含硅气体与氧气；对电极供电以在室内生成形成剥离层的气体的等离子体；以及在基板的至少第一结构化表面上沉积由形成剥离层的气体形成的剥离层，从而形成加工模具。

主权项

一种形成加工模具的方法，包括：在位于室中的电极上放置基板，所述基板至少具有第一结构化表面，并且所述基板包含热固性聚合物材料；向所述室内引入形成剥离层的气体，其中所述形成剥离层的气体包括含硅气体或包括含硅气体与氧气的混合物，所述混合物中氧与硅的原子比不大于约200；对所述电极供电以在所述室内生成所述形成剥离层的气体的等离子体；以及在所述基板的所述第一结构化表面的至少一部分上沉积由所述形成剥离层的气体形成的剥离层，从而形成加工模具。