基材支撑环组件;SUPPORT PING ASSEMBLY

摘要

本发明提供一种在具有周围边缘之一基板支撑件上的基板环组件。此组件具有包含一内周缘之环带，其环绕且至少部分覆盖此基板支撑件之周围边缘。此组件亦具有一种夹钳以将该该环带固定在此基板支撑件的周围边缘上。

主权项

1.一种用在一基板支撑件之基板环组件，该基板支撑件具有一具周围之基板接收面与一具顶面之周围边缘，该组件至少包含：(a)一环带，其具有：(i)一顶面，其具有一圆周、一突出部及复数个同心沟槽，该些同心沟槽系和该环带之圆周同心，各个沟槽包含一圆滑的底端；(ii)一内周缘，其环绕该基板支撑件之该基板接收表面的周围；(iii)一底脚，其由该环带向下延伸以接触且压靠该基板支撑件之该周围边缘之该顶面不会超过约70%；(iv)一凹陷表面区，其由该向下延伸之底脚向外延伸，且位在该周围边缘之顶角的上方，而不会接触该基板支撑件之该周围边缘；以及(v)一开口，其延伸穿过该环带；(b)一夹钳，用以将该环带固定在该基板支撑件之该周围边缘，该夹钳包含：(i)一扣件，其用以通过该开口；以及(ii)一锁固托架，其用以接收该扣件以将该夹钳锁在该基板支撑件之该周围边缘。 ;2.如申请专利范围第1项之组件，其中该扣件至少包含一旋转扣件，其可转动该托架以稳固该托架在该支撑件上。 ;3.如申请专利范围第2项之组件，更包含一覆盖环，其环绕该环带之一周围且具有向内延伸超过该环带周围之一突出物，该突出物至少包含一向下延伸之突出部，该突出部之大小、形状可用以减少制程沈积物在该顶表面之至少一部份上的沉积。 ;4.如申请专利范围第1项之组件，其中该夹钳至少包含：(a)一放射状弹簧，在该环带之内部与该支撑件之该周围边缘之间压缩以支持该环带靠在该支撑件上；或(b)一弹簧，用以在该环带与该支基板撑件之一部份之间伸展以支持该环带靠在该支撑件之该周围边缘上。 ;5.如申请专利范围第1项之组件，其中该支撑环至少包含不锈钢、钛及铝之至少一者。 ;6.一种基板制程反应室，其至少包含申请专利范围第1项之支撑环组件且更包含一基板支撑件、一气体分配系统、一气体激发器及一气体排放装置。 ;7.一种用在一基板支撑件之基板环组件，该基板支撑件具有一具周围之基板接收面与一具顶面之周围边缘，该组件至少包含：(a)一环带，其具有：(i)一顶面，其具有一圆周、一突出部及复数个同心沟槽，该些同心沟槽系和该环带之圆周同心，各个沟槽包含一圆滑的底端；(ii)一内周缘，其环绕该基板支撑件之该基板接收表面的周围；(iii)一底脚，其由该环带向下延伸以接触该基板支撑件之该周围边缘之该顶面；(iv)一凹陷表面区，其由该向下延伸之底脚向外延伸，且位在该周围边缘之顶角的上方，而不会接触该基板支撑件之该周围边缘；以及(v)一开口，其延伸穿过该环带；以及(b)一夹钳，用以将该环带固定在该基板支撑件之该周围边缘，该夹钳包含：(i)一扣件，其用以通过该开口；以及(ii)一锁固托架，其用以接收该扣件以将该夹钳锁在该基板支撑件之该周围边缘。 ;8.如申请专利范围第7项之组件，其中该扣件至少包含一旋转扣件，其可转动该托架以稳固该托架在该支撑件上。 ;9.如申请专利范围第7项之组件，更包含一覆盖环，其环绕该环带之一周围且具有向内延伸超过该环带周围之一突出物，该突出物至少包含一向下延伸之突出部，该突出部之大小、形状可用以减少制程沈积物在该环带之顶表面之至少一部份上的沉积。 ;10.如申请专利范围第7项之组件，其中该向下延伸之底脚的大小与形状系用以大致上压靠在该基板支撑件之该周围边缘上而不会导致该周围边缘破裂；以及包含多个凹陷表面区域，位于向下延伸之该底脚附近且大致上不会接触该周围边缘。 ;11.一种用在一基板支撑件之基板环组件，该基板支撑件具有一具周围之基板接收面与一具顶面之周围边缘，该组件至少包含：(a)一环带，其具有：(i)一顶面；(ii)一内周缘，其环绕该基板支撑件之该基板接收表面的周围；(iii)一底脚，其由该环带向下延伸以接触该基板支撑件之该周围边缘之该顶面；(iv)一凹陷表面区，其由该向下延伸之底脚向外延伸，且位在该周围边缘之顶角的上方，而不会接触该基板支撑件之该周围边缘；以及(v)至少一大致上垂直的开口，其延伸穿过该环带；(b)一夹钳，用以将该环带固定在该基板支撑件之该周围边缘，该夹钳包含：(i)至少一扣件，其用以通过该环带中之该开口；以及(ii)一锁固托架，其用以接收该扣件及固定该环带至该基板支撑件，该托架包含一突出壁以压靠该环带之一周围侧壁而将该环带锁在一期望的夹钳位置上、一突出唇状物以压靠在该基板支撑件之该周围边缘、及一位于该周围边缘之底角附近的邻接凹槽。;本发明之特征、概念与优点在说明书、附加之专利范围与后附之图式中将阐明的更清楚，其中图式系用以绘示本发明之实例。然而，需了解的是每一个特征系可用于本发明中，并不限定仅用于特定图式中之内容，并且本发明包含下述特征的组合，其中：第1a图系为具有夹紧之环带的基板环组件实例的部分截面侧视图；第1b图系为具有第1a图之基板环组件的基板支撑件实例之部分上视图；第1c图系为第1a图之基板环组件实例中具有旋转扣件的部分侧面图；第2a图系为具有一种包含放射状弹簧的夹钳之基板环组件实例的部分截面侧视图；第2b图系为具有一种包含延伸弹簧的夹钳之基板环组件实例的部分截面侧视图；以及第3图系为具有基板环组件的制程反应室实例之部分截面侧视图。