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发明名称 Mikromechanische Kappenstruktur
摘要
申请公布号 DE10004964(B4) 申请公布日期 2010.07.29
申请号 DE20001004964 申请日期 2000.02.04
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 PINTER, STEFAN;EMMERICH, HARALD;TRAH, HANS-PETER;BAUMANN, HELMUT
分类号 B81B3/00;G01P9/04;B81B7/00;B81C1/00;G01P1/02;G01P9/00;G01P15/08;H01L23/02;H01L23/10 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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