用于计量仪器的评估和优化方法

摘要

本发明涉及用于通过基于精确度和准确度确定总测量不确定性(TMU)，评估和优化计量仪器的方法及相关的程序产品。基于线性回归分析并从净残留误差除去参考测量系统不确定性(URMS)，计算TMU。TMU提供测试中的测量系统是否有能力检测正确的产品变化的客观和更准确的表示。

主权项

一种用于优化测试中的测量系统的方法，该方法包括以下步骤：(a)提供多个结构，其中所述多个结构具有待测尺寸；(b)使用参考测量系统，根据测量参数，测量所述多个结构的尺寸，以产生第一数据集，并通过所述第一数据集中的数据计算参考测量系统不确定性URMS，其中所述参考测量系统不确定性URMS定义为参考测量系统精确度和独立确定的参考测量系统总测量不确定性TMURMS之一；(c)使用所述测试中的测量系统，根据测量参数，测量所述多个结构的尺寸，以产生第二数据集，并通过所述第二数据集中的数据计算所述测试中的测量系统的精确度；(d)进行所述第一和第二数据集中数据的线性回归分析，以确定所述测试中的测量系统的校正精确度和净残留误差；(e)通过从所述净残留误差除去所述参考测量系统不确定性URMS，确定用于所述测试中的测量系统的总测量不确定性TMU；(f)对于至少一个其它的测量参数重复步骤(c)至(e)；以及(g)通过基于最小总测量不确定性确定最佳测量参数，优化所述测试中的测量系统；其中，测量参数指影响可控制地改变的测量结果的任意测量条件或分析参数，以及所述任意测量条件和分析参数的组合或这些的一种变化。