发明名称 Method for preparing a silicon on sapphire thin film and the silicon on sapphire thin film prepared by the same
摘要
申请公布号 KR100972605(B1) 申请公布日期 2010.07.28
申请号 KR20080025558 申请日期 2008.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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