| 发明名称 |
METHOD FOR DEPOSITING COBALT FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2010159447(A) |
申请公布日期 |
2010.07.22 |
| 申请号 |
JP20090001412 |
申请日期 |
2009.01.07 |
| 申请人 |
JSR CORP |
发明人 |
NISHIMURA HIDEKI;MATSUKI YASUO |
| 分类号 |
C23C16/448;C23C14/14;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
C23C16/448 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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