发明名称 Halbleiter-Schaltungsanordnung mit Grabenisolation und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE10306318(B4) 申请公布日期 2010.07.22
申请号 DE20031006318 申请日期 2003.02.14
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;QIMONDA AG 发明人 KNOBLOCH, KLAUS;GRATZ, ACHIM;SCHULER, FRANZ
分类号 H01L27/115;H01L21/336;H01L21/8247;H01L29/06;H01L29/40;H01L29/788 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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