有机EL器件制造装置、成膜装置及其成膜方法、液晶显示基板制造、定位装置及定位方法

摘要

本发明提供一种降低基板和掩模的挠曲或荫罩的翘曲的影响，能够高精度地蒸镀、或者通过将驱动部等配置在大气侧从而降低真空内的粉尘和气体的发生，生产性高或维修保养性高，工作效率高的有机EL器件制造装置或成膜装置。而且提供能够高精度地定位的定位装置以及定位方法。本发明的第一特征在于使荫罩以下垂的姿势进行与基板的对位并将蒸镀材料蒸镀在基板上。另外，第二特征在于用使光入射到设置于荫罩上的定位用的贯通孔的透过型进行定位。再有，第三特征在于降低荫罩的翘曲进行蒸镀。

主权项

一种有机EL器件制造装置，在真空室内进行基板和荫罩的定位，并具有将蒸发源内的蒸镀材料蒸镀在基板上的真空蒸镀室，其特征在于，具有：将上述基板保持为立起的姿势的基板保持机构；将上述荫罩保持为下垂的姿势的荫罩下垂机构；对设置在上述基板和荫罩上的定位标记进行摄像的定位光学机构；以上述下垂姿势的状态驱动上述荫罩的定位驱动机构；以及，基于上述定位光学机构的结果控制上述定位驱动机构的控制机构。