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发明名称
SUBSTRATE, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
EP1620894(A4)
申请公布日期
2010.07.21
申请号
EP20040730042
申请日期
2004.04.28
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
YONEHARA, TAKAO
分类号
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/76;H01L21/762
主分类号
H01L27/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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