滤色片的制造方法、滤色片、液晶显示装置、制造装置

摘要

本发明涉及滤色片的制造方法、滤色片、液晶显示装置、制造装置。防止蚀刻阻挡层的剥离。本发明的滤色片(10)具有以SnO2为主要成分的无机保护膜(21)(蚀刻阻挡层)。该无机保护膜(21)的电阻率高，并且，线膨胀系数接近透明电极(23)的线膨胀系数，所以，即使处理对象物(19)被加热，无机保护膜(21)也不从透明电极(23)或树脂层(22)剥离。无机保护膜(21)和透明电极(23)能够在同一成膜室(5)的内部连续成膜，所以，与现有技术相比能够缩短制造滤色片所需的时间。

主权项

一种滤色片的制造方法，该滤色片具有：透明基板；树脂层，配置在所述透明基板的表面上；无机保护膜，配置在所述树脂层的表面上；透明电极，配置在所述无机保护膜的表面，并且利用构图工序形成有开口，其特征在于，在所述构图中，在以SnO2为主要成分的所述无机保护膜的表面形成有所述透明电极的状态下，使所述无机保护膜的溶解速度比所述透明电极的溶解速度慢的蚀刻液接触所述透明电极，形成所述开口，使所述无机保护膜的表面在所述开口的底面露出。