多光束扫描装置

摘要

一种多光束扫描装置，包括：多个第一光学系统，其包括用于发射非平行光的光源单元以及具有预定光焦度并影响从光源单元发射的光的光学元件；第二光学系统，其包括第一偏转系统以及公共光学系统，所述第一偏转系统设置在每个第一光学系统的后段，从每个第一光学系统发射的多束激光共同入射到所述第一偏转系统，所述第一偏转系统偏转激光，所述公共光学系统改变激光的发散度；光路移动装置，用于平行移动入射光路，从光源单元发射的激光通过所述入射光路入射到光学元件上。入射到第一偏转系统上的光全部入射到第一偏转系统的基本相同的位置，每个光学元件被设置成光学元件的光轴在与光学元件的距离为光学元件的焦距的位置处相交。

主权项

一种多光束扫描装置，包括：多个第一光学系统，所述多个光学系统中的每一个包括：被配置为发射非准直光束的光源单元；以及具有预定光焦度并对激光束起光学作用的光学元件；第二光学系统，其设置在所述多个第一光学系统的下游侧，包括：第一偏转器，所述多个第一光学系统发射的光束入射到所述第一偏转器上，所述第一偏转器偏转激光束；以及公共光学系统，其被配置为改变多个光束中的每一个的发散度；以及光路移动系统，其被配置为在与最接近待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内沿与所述光学元件的光轴垂直的方向平移由光源发射并入射到所述光学元件上的光束的入射光路，其中入射到所述第一偏转器上的所有光束入射到所述第一偏转器上的基本相同的位置，以及其中设置所述光学元件使得所述光学元件的光轴在与所述光学元件的距离等于所述光学元件的焦距的位置处相交。