发明名称 分离两种材料的方法
摘要 本发明公开一种分离方法,包含:形成一高磁导金属阵列于一基板与一半导体层之间;以及以无线射频加热该高磁导金属阵列,使该高磁导金属阵列产生高温,以分离该基板与该半导体层。本发明在拆开两个原本结合一起的材料时,借助位于两个材料界面之间的高磁导物质阵列,用无线射频加热(Radio Frequency Heating)于该高磁导物质上并产生高热,使得该两个材料因此能相互解离。
申请公布号 CN101783279A 申请公布日期 2010.07.21
申请号 CN200910000281.X 申请日期 2009.01.15
申请人 先进开发光电股份有限公司 发明人 叶颖超;黄世晟;涂博闵;林文禹;吴芃逸;詹世雄
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 姜燕;陈晨
主权项 一种分离两种材料的方法,包含:形成一高磁导金属阵列于一基板与一半导体层之间;以及以无线射频加热该高磁导金属阵列,使该高磁导金属阵列产生高温,以分离该基板与该半导体层。
地址 中国台湾新竹县