发明名称 |
分离两种材料的方法 |
摘要 |
本发明公开一种分离方法,包含:形成一高磁导金属阵列于一基板与一半导体层之间;以及以无线射频加热该高磁导金属阵列,使该高磁导金属阵列产生高温,以分离该基板与该半导体层。本发明在拆开两个原本结合一起的材料时,借助位于两个材料界面之间的高磁导物质阵列,用无线射频加热(Radio Frequency Heating)于该高磁导物质上并产生高热,使得该两个材料因此能相互解离。 |
申请公布号 |
CN101783279A |
申请公布日期 |
2010.07.21 |
申请号 |
CN200910000281.X |
申请日期 |
2009.01.15 |
申请人 |
先进开发光电股份有限公司 |
发明人 |
叶颖超;黄世晟;涂博闵;林文禹;吴芃逸;詹世雄 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
姜燕;陈晨 |
主权项 |
一种分离两种材料的方法,包含:形成一高磁导金属阵列于一基板与一半导体层之间;以及以无线射频加热该高磁导金属阵列,使该高磁导金属阵列产生高温,以分离该基板与该半导体层。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |