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发明名称 ULTRASONIC LINEAR DRIVE UNIT COMPRISING A HOLLOW CYLINDRICAL OSCILLATOR
摘要
申请公布号 EP2208243(A2) 申请公布日期 2010.07.21
申请号 EP20080847048 申请日期 2008.11.03
申请人 PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG 发明人 WISCHNEWSKIJ, WLADIMIR;WISCHNEWSKIJ, ALEXEJ
分类号 H01L41/09 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
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