对从固体升华的蒸气流的控制

摘要

一种用于向一真空室输送一稳定的升华蒸气流的蒸气输送系统，其包括一固体材料气化器、一机械节流阀及一压力表、随后是一通往所述真空室的蒸气导管。所述蒸气流速取决于所述气化器的温度及位于所述气化器与所述真空室之间的机械节流阀的流导的设定值二者。所述气化器的温度取决于根据一设定点温度进行的闭环控制。所述机械节流阀受到电控制，例如阀门位置受到根据所述压力表的输出进行的闭环控制。通过此种方式，所述蒸气流速可大体与压力表输出成正比。所有暴露至自所述气化器至所述真空室的蒸气的表面均受到加热来防止冷凝。图中显示一闸阀及一旋转的蝶阀用作上游节流阀。在使用一固定的固体材料充填量时，可使所述气化器的温度在一很长的时间段内保持稳定，在所述时间段内，随着所述充填量的升华，所述节流阀从其工作范围中的一较低的流导缓慢开启。当达到一更大的阀门排放量时，升高温度，以使所述阀门重新调节至其较低的流导设定值，以使其可重新随着所述充填量的进一步消耗而缓慢开启。

主权项

一种用于向一真空室(130；258；260)输送一从一固体材料(29；140；200)升华的受控蒸气流的蒸气输送系统，其包括一可在负压下运作的用于所述固体材料的受加热气化器(28；145；205；400)及一从所述气化器至所述真空室的蒸气输送通道(37；237)，所述蒸气输送通道包括一节流阀(100；100’；235；430)后随一蒸气导管(32；150；228)，一可响应于负压的压力表(60；240；450)位于所述节流阀与所述蒸气导管之间，所述蒸气输送通道的暴露至所述升华的蒸气的表面，包括所述节流阀、所述压力表及所述蒸气导管的此种表面，均适于保持在一高于所述固体材料的冷凝温度的温度，且一包含所述压力表的闭环控制系统(60；120；240，250，245；PID2)构造成响应于所述压力表的输出而改变所述节流阀的流导以控制所述节流阀下游所述蒸气的所述负压，流至所述真空室的蒸气流量取决于所述节流阀与所述蒸气导管(32；150；228)之间所述通道区域中所述蒸气的压力。