发明名称 PROCEDIMIENTO DE TRATAMIENTO DE UN RECIPIENTE QUE COMPRENDE FASES DE BOMBEO EN VACIO Y MAQUINA PARA LLEVARLO A CABO.
摘要 Procedimiento de tratamiento de al menos un recipiente (12) para realizar la deposición de un revestimiento interno que forma una barrera mediante un plasma micro-ondas, en especial con vistas a permitir el acondicionamiento de líquidos oxido-sensibles en el recipiente (12), del tipo en el cual el recipiente (12) está dispuesto en el interior de un recinto (16) de tratamiento herméticamente cerrado que delimita una cavidad (18) en el exterior del recipiente (12) y que está conectado a un circuito de bombeo (50) de vacío por un conducto de vacío externo (20), estando el interior del recipiente (12) conectado al circuito de bombeo (50) por un conducto de vacío interno (34), del tipo que comprende una etapa preliminar (E1) en el transcurso de la cual el circuito de bombeo (50) provoca una disminución de la presión en el interior de la cavidad (18) hasta un valor determinado llamado valor final externo (pFext) y una disminución de la presión en el interior del recipiente (12) hasta un valor determinado llamado valor final interno (pFint) que es inferior al valor final externo (pFext), siguiendo a la etapa preliminar (E1) una etapa de tratamiento (E2) en el transcurso de la cual los valores finales (pFext, pFint) son mantenidos en la cavidad (18) y en el recipiente (12) para permitir la deposición del revestimiento interno en el recipiente (12), caracterizado por el hecho de que la etapa preliminar (E1) comprende sucesivamente: - una fase de bombeo externo (P1), en el transcurso de la cual el conducto de vacío interno (34) está cerrado y el conducto de vacío externo (20) abierto se cierra, provocando el circuito de bombeo (50) la disminución de la presión únicamente en la cavidad (18), hasta un valor intermedio (pMext) que es superior al valor final externo (pFext), - una fase intermedia de bombeo (Pm), entre la fase de bombeo externo (P1) y una fase de bombeo interno (P2), en el transcurso de la cual el conducto de vacío externo (20) y el conducto de vacío interno (34) se abren simultáneamente de manera que el circuito de bombeo (50) disminuye simultáneamente la presión en la cavidad (18) y en el interior del recipiente (12), hasta que la presión en la cavidad (18) alcance el valor final externo (pFext), y: - una fase de bombeo interno (P2), en el transcurso de la cual el conducto de vacío externo (20) está cerrado y el conducto de vacío interno (34) está abierto, provocando el circuito de bombeo (50) la disminución de la presión únicamente en el interior del recipiente (12), hasta el valor final interno (pFint).
申请公布号 ES2342948(T3) 申请公布日期 2010.07.19
申请号 ES20050763073T 申请日期 2005.07.05
申请人 SIDEL PARTICIPATIONS 发明人 DANEL, LAURENT, SIDEL;LECOMTE, FREDERIC, SIDEL;CHOMEL, NICOLAS, SIDEL
分类号 B05D7/22;B05D3/14 主分类号 B05D7/22
代理机构 代理人
主权项
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